水滴这款50W激光清洗机，整机尺寸长宽只有A4纸一般大小、全重只有8kg、可单根手指提起、可背包的迷你激光清洗机，这在一年前是不敢想象的事情。而今天我们实现了这个目标。

P系列作为水滴激光全新推出的迷你清洗解决方案，后面还将继续推出P-100、P-500、乃至P-1000，就如这款P-50是全球市场已知的最小型清洗机一样，我们后面推出的该系列产品都将争取在轻量化和小型化上做到国内乃至全球领先的位置，让我们的每一款出品，都是精品。

近日，长光华芯发布投资者关系活动记录表中表示，公司的VCSEL芯片功率密度已经达到了1200瓦每平方毫米。

长光华芯表示，VCSEL目前主要应用于消费电子、激光雷达、光通讯。

消费电子方面包括手机、AR、VR等终端应用，公司目前主要是给华为供手机的VCSEL芯片。

无人驾驶汽车激光雷达方面，公司现在努力把VCSEL芯片的功率提升到边发射的水平，目前处于研发和样品认证阶段。现在技术已经突破了，在客户端验证的情况也不错，今年年内预计会通过客户认证以及车规IATF16949和AECQ认证。

光通讯方面，短距离应用于数据中心，目前战略是只服务战略股东华为。

对于未来，长光华芯表示在这两年时间主要做单管高功率，产能的释放做到市场份额的80%。三年后，随着车载激光雷达VCSEL市场需求量增大以及特殊领域对激光器的需求，将再造一个工业激光的市场需求。

长光华芯成立于2012年3月，是半导体激光行业的垂直整合厂商，专注于半导体激光芯片、器件及模块等的研发、制造及销售，已与苏州高新区政府共建了苏州半导体激光创新研究院为平台，现已形成由半导体激光芯片、器件、模块及直接半导体激光器构成的四大类、多系列产品矩阵，主要产品包括高功率单管系列产品、高功率巴条系列产品、高效率VCSEL系列产品及光通信芯片系列产品等。

据悉，华为哈勃于2020年12月底以7600万元获取长光华芯向其定向增发的506.5004万股，就此持有长光华芯4.98%的股份。

伴随全球半导体市场的升级，国内设备厂商也迎来新的发展机遇。半导体设备作为国产化的核心领域，对于中国半导体产业链安全具有重大意义。近年来，多重因素影响下，本土设备厂商验证与导入速度也在加快。 

设备市场持续升温，国产化机遇放大

根据 SIA 的统计报告，2019 年中国在晶圆制造设备领域的占比仅为 2%，“卡脖子”问题尤为明显，近几年，面对国际政治不确定性提高的背景，设备国产化成为迫切需求。

此外，据SEMI数据，2021年全球半导体制造设备销售额激增，相比2020年的712亿美元增长了44%，达到1026亿美元。中国大陆第二次成为全球半导体设备的最大市场，销售额增长了58%，达到296亿美元，半导体设备景气周期有望持续。

与进口设备相比，国产设备交期相对较好，响应速度更快、配套服务更到位。在全球半导体市场上，近几年半导体制造设备延期交付的现象屡见不鲜。受到关键零部件短缺、疫情影响等因素，半导体设备延期交付的声音此起彼伏，一定程度上也影响了厂商扩产脚步。

在国内半导体市场，已有南大光电、神工股份、华润微、华峰测控等多家企业发布公告称，因关键设备采购周期延长等因素导致项目建设进度不及预期。

另一方面，受设备供应压力、中美贸易摩擦影响等多重因素叠加下，国内Fab厂在扩产同时也在积极导入国产设备。截至目前，已有多家国内半导体设备厂商相继发布了22Q1与2021年度财报，国产设备厂商订单今年以来呈现向好局势。

据统计，今年以来，北方华创、芯源微、拓荆科技、中微半导体、盛美半导体等多家设备商都有多台设备中标。

半导体切割设备“融资热”

在设备国产化热潮来临的同时，资本热钱也在加速涌入半导体设备市场，以助推行业进一步发展。

据统计，今年以来，在国内半导体设备领域，已有16家公司完成了新一轮融资，融资额超17亿元。

细数今年以来获得融资的半导体设备企业，“切割”领域成为投资亮点之一，镭明激光、科韵激光、泰德激光、和研科技等都涉及切割领域。而晶圆切割则备受关注。

在上述企业中，和研科技已成功研发12英寸全自动晶圆划片机，镭明激光是少数同时拥有激光开槽以及激光隐切两项核心技术的公司之一，推出了12英寸晶圆激光开槽机和12英寸晶圆激光隐形切割机。泰德激光独立研发生产的全自动晶圆标记、晶圆切割系统及AOI检测设备也已获得行业客户的认证。科韵激光在2021年底也推出了SiC晶圆隐切等多款半导体和PCB设备。

上述企业在今年陆续获得新一轮融资，将进一步助力晶圆切割设备的国产化。

在晶圆制造流程中，晶圆切割设备（划片机）是封装设备重要环节。划片机是使用刀片或者通过激光等方式高精度地切割硅片、玻璃、陶瓷等被加工物的装置，是半导体后道封测中晶圆切割和 WLP 切割环节的关键设备。

图片来源：东吴证券

切割设备将整片晶圆按照芯片大小分割为单一的芯片，进而封装为商品。因此，晶圆的切割技术对提高成品率和封装效率有着重要影响。

由于晶圆切割设备相比晶圆制造核心设备，开发难度较低，因此晶圆切割设备成为国产化的重要方向之一。除了技术难度以外，国内封测厂随着技术实力提升，市场话语权不断增强，在国内半导体封测厂积极扩产背景下，也为国产划片机带来了广阔的发展空间。

但是，全球划片机市场被海外厂商垄断的局面也是现状之一， DISCO 和东京精密占据较大比例的市场，国产厂商份额极低。DISCO 成立于 1937 年，从刀片耗材业务起家，1975 年开发出划片机成功进入精密机械设备领域，集微咨询高级分析师陈跃楠指出， Disco在磨片和切片具有技术优势，全球市占率超过50%。

本土激光切割设备加速落地

晶圆切割主要分为刀片切割和激光切割两大工艺，分别对应砂轮划片机和激光划片机两类划片设备。刀片切割包括一次切割和分步连续切割的方式，效率高，成本低，寿命长，是使用最广泛的切割工艺，尤其在较厚晶圆（>100 微米）具备优势。

2007年，日本DISCO公司开发出可以用激光进行晶圆切割的设备，自此激光切割逐渐发展起来。从技术角度来看，激光切割工艺切割精度高、切割速度快，主要适用于较薄晶圆（<100 微米）的切割。

从制造角度来看，激光和刀片切割殊途同归，前者使用的激光头划切晶圆,后者则使用空气主轴固定刀片划切晶圆。

作为晶圆切割的细分领域，激光设备为国产设备商的突破点主要原因在于：激光设备主要依靠激光头的移动，DISCO在这方面没有像刀片切割的主轴那样的核心技术，相对而言壁垒低于刀片切割机。

数年来，已经陆续有国内企业进入激光切割设备领域，且商业落地的脚步逐渐加快。

如前文所提到的ADT，在光力科技收购ADT公司之前，ADT公司已经研发制造了激光切割机，并销售给台湾一家封测企业。只是由于产品成本过高，没有进一步推广。收购ADT后，光力科技重新开启研究计划，由郑州研发团队正和以色列团队一起研发新的激光切割机。

2021年12月，迈为股份披露，公司半导体晶圆激光开槽设备获长电科技、三安光电订单，为国内第一家为长电科技等企业供应半导体晶圆激光开槽设备的制造商，并与其他五家企业签订试用订单。

在今年2月宣布完成数亿元融资的镭明激光，2019年苏州AMD成为其首家客户，当时苏州AMD已经被通富收购。

除民营企业以外，中国长城、中电科45所等“国家队”选手，也陆续推出了相关产品。

2020年，电科装备45所牵头承担的激光隐形划切设备及工艺开发项目顺利通过北京市科委验收。突破了激光划切实时测高及动态焦点跟随、运动轨迹控制、分层隐形划切等关键技术，掌握了碳化硅晶圆隐形划切工艺，满足碳化硅晶圆切割需求。

今年4月，中国长城旗下郑州轨道交通信息技术研究院在研制半导体激光隐形晶圆切割设备的经验和基础上，推出了支持超薄晶圆全切工艺的全自动12英寸晶圆激光开槽设备。该设备除了具备常规激光开槽功能之外，还支持5nm DBG工艺、120微米以下超薄wafer全切割功能、晶圆厂IGBT工艺端相关制程和TAIKO超薄环切等各种高精端工艺。

在金属材料加工方面，YLR单模连续光纤激光器具有独特的优势：更快的加工效率，极强的抗高反能力、更小的热影响、更大的熔深、优质的异种材料焊接能力等。

作为单模激光产品，YLR单模激光器在行业内具有竞争优势。在相同功率下，YLR单模光纤芯径更小，能量密度更高，从而在加工能力和效率方面均表现卓越。

基于此成熟平台，IPG推出功率高达3kW的YLR单模激光器。在功率提升至新的高度后，YLR单模的加工能力和效率方面将有哪些突破？能够为行业客户带来哪些效益？

高速切割利器

在切割应用方面，新款3kW YLR单模激光器将有更多的用武之地：

在板材配送，汽车，家电等行业，多头激光高速落料线，正迅速替代传统的模具冲压落料，灵活，高效的对4mm及以下材料进行切割落料，新款3kW YLR单模激光器可以显著提升切割速度，从而提升落料线的整体生产效率；在汽车行业，高强钢材料的广泛使用，让三维五轴激光切割机成为必备的切孔、修边设备，3kW YLR单模激光器可以有效提升三维五轴切割机的生产效率和成品质量。

让我们通过实测数据来具体了解一下。图表(1)中的测试数据显示：使用氮气作为保护气体，分别用功率为1.5 kW、2 kW和3 kW 的YLR 单模激光器切割1-4 mm厚度的不锈钢，不锈钢板厚度越厚，功率提升后的切割效率优势越显著；切割4 mm不锈钢板时，3 kW的YLR单模激光器较2 kW 提升了170 %，较1.5 kW 的提升了285 %。

图表1. 不同功率YLR单模激光器不锈钢氮气切割速度对比

在切割能力方面，3kW 的YLR单模激光器也表现出强劲的实力。与市面上同类型产品相比，3kW 的YLR 单模激光器在切割薄板不锈钢时，切割速度甚至可以超过友商6kW（光纤芯径100μm）的激光器。图表(2)中的测试数据显示：在切割1 mm和2 mm不锈钢板时，3kW 的YLR单模激光器比友商6 kW（光纤芯径100μm）激光器切割效率提升了67%。

图表2. YLR 3kW单模激光器和友商6kW（100μm）激光器不锈钢氮气切割速度对比

YLR单模激光器采用的是更细的光纤芯径，是普通产品的1/3 ，聚焦光斑更小，能量密度更高。在同样功率下，1/3 大小的光斑直径能将能量密度提升 9 倍，可以非常有效地提高加工能力或效率。图表(3)中的测试数据显示：分别使用激光功率为3kW 的YLR单模激光器和普通YLR激光器（光纤芯径50μm）氮气切割不锈钢，YLR单模激光器切割1-4 mm不锈钢板的速度均有较大幅度的提升；其中，切割2 mm 不锈钢板的速度提升了100 %。

图表3. YLR 3kW单模激光器和YLR 3kW（50μm）不锈钢氮气切割速度对比

高反金属焊接飞溅克星

3kW YLR单模激光器不仅是薄板切割的利器，同时也是焊接高反金属的理想激光光源。

金属加工中常用的紫铜材料，因其良好的导电性，导热性，塑性极好，易于热压和冷压力加工，被广泛用于制作导电、导热器材。对于焊接紫铜这类高反金属，采用光纤芯径更细的YLR单模激光器，可以得到更小的熔池、更高的能量密度，从而减少热输入、有效控制焊接变形。配合IPG摆动焊接头，可以使焊接过程更稳定，飞溅更少。

激光功率提升至3kW后，YLR单模激光器在焊接紫铜材料的能力进一步提升。图表(4)中的测试数据显示：相比2kW的YLR单模激光器，3kW的YLR单模激光器在不同焊接速度上熔深提升大于86%。图7中的测试数据显示：随着激光功率的提升，3kW的YLR单模激光器的穿透能力更强，在保证焊缝质量优良的前提下，可以得到更大的熔深。

图表4. 不同功率YLR单模激光器焊接效果对比

高性价比的优化激光解决方案

综合测试结果来看，YLR单模激光器功率提高至3kW 后，在切割与焊接方面的能力均有显著提升：在切割方面，提高了不锈钢薄板的切割速度，与市面上同类型产品相比，更具竞争优势；在焊接方面，在保证焊缝质量优良的前提下，提升了紫铜这类高反金属的熔深。

除了卓越的加工能力，3kW YLR单模激光器采用紧凑型机架式设计，比市场上同类型产品体积更小，更节省空间，更易于集成。可以灵活应用于洁净室系统、钣金加工站、或是需要集成到生产线上的场景，是一款高性价比的优化激光解决方案。

自华日激光超快基地正式投产以来，吸引了来自众多专业人士前来参观交流，举办了多场学术沙龙活动，并针对研究生和本科生开展了激光应用工艺实践活动。 华日激光超快基地进一步搭建了产学研用相结合的理论和实践平台，推进了校企合作及成果转化。

下面我们来一起了解一下华日激光超快基地为什么有如此大的魅力？

▸华日激光超快基地

华日激光超快基地不仅是激光加工国家工程中心超快激光事业部，也是国家十三五重点研发项目的产业化基地。

▸顶配级应用工艺实验室

华日激光已经建成包括应用工艺检测实验室、光纤飞秒激光器应用工艺实验室，皮秒激光器应用工艺实验室，纳秒激光器应用工艺实验室，激光尖端应用实验室等五大工艺实验室，并配备各型激光器和加工平台，可以进行多种激光的材料加工实验。

应用工艺实验室

行业专家莅临指导

华日激光应用工艺实验室建立以来，吸引了来自华中科技大学、武汉大学、武汉理工大学、武汉工程大学、江汉大学等高校的学生前来开展了相关工艺的学习和实践。

大学生实践活动

▸超200平学术会议交流厅

华日激光超快基地，建有230平超大学术会议交流厅和专业学术会议室，在满足自身需求的情况下，吸引了众多行业内人士前来开展学术交流活动。

学术交流厅

技术分享会

学术电话会

博士生技术分享会

未来，华日激光将继续秉承开放、包容的理念，推进校企合作及成果转化，贯彻产学研用相结合的理念，营造产业创新发展生态环境。

当前，白内障仍是世界上首位致盲眼病。上世纪90年代起，浙大眼科医院院长、浙大二院眼科中心主任姚克教授推动、完成白内障手术的五次技术革命，从传统的大切口整体囊内摘除术发展到现在的飞秒激光辅助白内障手术，从此迈向了精准屈光白内障手术的新台阶。他坦言，防盲工作任重道远，加上人们的视觉需求已经从“看得见”转变为“看得清”，眼科人更不能止步于此，要敢于探索、研究、运用好新科技，推动白内障手术的发展，持续向国际发出中国声音。

5月27日上午，浙江大学眼科医院-爱尔康全球培训中心授牌仪式在浙江大学眼科医院（浙大二院眼科中心）举行，这也是全球首个配备LenSx飞秒激光手术系统用于教学及实操的Wetlab培训中心，姚克教授专家团队及爱尔康公司代表手术市场部负责人郑瑜先生等共同揭牌。随着第一期“飞白手术”培训课程圆满落幕，这个代表尖端科技的眼科教育平台正式开始服务于全球的眼科医师，将持续为中国及海内外的眼科医师提供规范化、可及性的专科培训与教育的体系。

揭牌仪式现场

“我们非常期待这个培训中心走出越来越多理论与实践能力俱佳的眼科手术人才，让更多患者受益。”姚克教授说。

姚克教授致辞

飞秒激光“加持”白内障手术领域

这家单位是全球的引领者

目前，浙大眼科医院开展的飞秒激光辅助白内障手术量位居全球第一，仅去年全年就完成4000余例。有如此成绩，离不开眼科团队长期以来坚持不懈的探索和奋进。

2014年5月，浙大二院眼科中心引进第一台LenSx飞秒激光设备，团队随即开展病例大样本的积累，对技术的效果进行科学验证。结果表明，患者术后的炎症、视网膜水肿、角膜内皮细胞等指标都非常理想，飞秒激光辅助白内障手术极具安全性。

2015年起，团队的技术运用更加得心应手，飞秒激光辅助白内障手术量开始成倍增加。

9年间，团队保持世界第一的手术量的同时，连续发表了15篇临床论文，成为飞秒激光领域发表论文最多的单位，并获得全球飞秒杰出贡献奖。他们研究人工撕囊与飞秒激光撕囊对囊袋收缩的影响，对晶体位置偏移的影响，对术后恢复期的影响等，并精确比较两者的术后视觉质量；他们发现不同预劈核的模式适用于不同硬度的白内障，适宜的匹配能进一步减少损伤……他们还在持续研究飞秒激光直接对散光患者的矫正与人工晶体矫正的区别，目前也已形成相关报告。

如今，浙大眼科医院已引进3台LenSx飞秒激光手术设备，数量位居世界前列。在飞秒激光领域，浙大眼科医院是全球的引领者，而手术的大数据也为患者提供了更安全、视觉质量最高的保障。

眼科一体化解决平台

高新科技全程护航手术安全

上周，钱报记者来到浙大眼科医院四楼的手术室一区，迎面而来满满的科技感：其中两个宽敞的手术间各配备一台飞秒激光手术仪，两台同时作业，全天完成了近五十台手术。

姚克教授在为一位白内障病人进行飞秒激光扫描，屏幕上患者的眼球在手术灯光的照射下，呈现“雪花样”散射形的六排光点，撕囊、预劈核就完成了。紧接着，病人被转移至Centurion超乳仪旁，消毒后继续手术的后半程。

姚克教授戴着3D眼镜进行直视下超声乳化手术，取出飞秒激光处理后的前囊膜后，一个正圆的囊口就显现在眼前，同时清晰可见预劈成六瓣的白内障核。启动超声乳化后，晶状体像果冻般从眼球里被超乳针头吸出。

撕囊是白内障手术中的重要环节，手工撕囊极大考验主刀的经验和能力。姚克教授解释，飞秒激光能代替人工精确完成个性化撕囊，保证前囊口正圆、居中，直径在5.0-5.5mm，这直接关系到晶体植入的安全性及术后的视觉效果。手术结束后，记者留意到显示屏上手术显微镜的三点灯光正落在人工晶体正中，“这样说明植入的晶体没有偏位，能将它的光学效果发挥到最佳。”

当然，飞秒激光的优势不止于此。它的介入使手术真正“无刀化“，能更安全、准确地形成角膜切口。上面提到的预劈核，就是对白内障进行“初步拆解”，到超声乳化时可用更小的能量将其吸出，大大降低了眼内损伤的可能。而对于一些有散光的患者，飞秒激光还可在角膜上做两条切口，直接矫正散光。

国内首个爱尔康全球培训中心启用

第一期规范化培训课程圆满落幕

5月26日，第一期飞秒激光辅助白内障手术培训正式开班，姚克教授团队11位专家领衔培训导师，11位来自国内七个省份的眼科临床医生参与培训，近乎一对一教授。

“他们都是具有丰富眼科手术经验的医生，其中还有曾接触过飞白技术的，因此培训要小班化教学，针对特定新技术进行提高。”姚克教授称，团队在课程设计上动了脑筋，通过手术观摩、手术操作教学、动物眼实操，加深学员对飞秒激光辅助白内障手术的了解，最后再回归到理论课程，让他们结合实际操作中遇到的困难和疑惑进一步去学习、吸收。

实操课上，姚克教授亲自指导

学员们正在观摩和实操

理论课上，姚克教授详细介绍了2014年以来飞秒激光辅助白内障手术的进展，并分享了不少手术要点和沟通技巧。接着，徐雯、申屠形超、陈佩卿、俞一波四位手术大咖分享了“飞白手术”的适应症与禁忌症、优缺点及注意事项、眼科医生学习曲线及疑难病例处理。学员们纷纷表示获益匪浅，继续踊跃提问，学习氛围甚浓。

姚克教授讲课中

徐雯教授讲课中

申屠形超教授讲课中

陈佩卿教授讲课中

俞一波教授讲课中

5月27日上午，浙江大学眼科医院-爱尔康全球培训中心授牌仪式在浙江大学眼科医院举行，姚克教授专家团队及爱尔康公司代表手术市场部负责人郑瑜先生等共同揭牌。

“感谢爱尔康公司在白内障领域新技术的研发，这对中国眼科事业的发展起到非常重要的作用。” 姚克教授认为，飞白一体化方案解决平台能显著降低不同医生因技术差距造成的手术安全性差距，这是该技术值得推广的一大前提。

“飞秒激光辅助白内障手术以其精准的优势给广大患者带来了满意的术后效果，更可喜的是这项技术目前在中国的应用和科研也走在世界前列，姚克教授团队是其中最重要的贡献力量。” 郑瑜表示，非常荣幸与浙大眼科医院团队强强联合，希望将飞白技术在中国的推广和普及能达到新的高度，让更多患者受惠。

郑瑜先生致辞

爱尔康手术事业部国际市场总监Roger Lopez先生也发来培训中心祝贺视频，他表示，能与浙大眼科医院这样国际一流的眼科单位合作感到非常骄傲，未来双方将继续致力于为中国及全世界患者带来最高标准的眼保健服务。

“结合我们的浙大经验，把飞秒激光辅助白内障手术越做越好，是我们全体眼科人共同的目标！”姚克教授说。

据悉，除了LenSx飞秒激光仪，浙江大学眼科医院-爱尔康全球培训中心还配备了包含Constellation白内障超声乳化和玻璃体切除系统，Centurion白内障超声乳化系统、NGENUITY 3D可视化系统，以及Verion数字导航系统，为实操培训提供了领先的技术条件。