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智慧高速“升级”势在必行,激光雷达正在激活百亿新市场

4月17日,一个跨度30年、投资超10万亿元的浙江大交通建设计划出炉,包括但不限于沪杭超级磁浮、沿海高铁、环杭州湾智慧高速公路、萧山机场综合枢纽…

杭州湾智慧高速公路是从前些年浙江首创的超级高速概念发展而来的,亮点是把大数据、人工智能、5G及自动驾驶等一系列新技术应用到高速公路上,将新建和改造杭绍甬、沪杭甬、杭州绕城等一批环杭州湾的高速公路网络。

新建杭绍甬智慧高速公路,智慧化改造沪杭甬高速、杭州湾跨海大桥,实现湾区全域高速公路智慧化;近期支持车路协同,远期支持自动驾驶等新技术。

杭绍甬初步确定将进行包括构建高精定位系统、车路协同通行系统、5G通信网络系统、新能源及无线充电系统、自动驾驶路测系统、自由流收费系统、大数据驱动的智慧云控平台、自动驾驶及货车编队系统、全新的出行体验系统、打造自有知识产权系统等十方面的改造。

智慧高速,是对高速道路基础设施的改造升级,其中包括2019年如火如荼的ETC系统,以及正在试验测试中的V2X车路协同系统。

将道路上有关行驶的信息首先进行数字化,然后针对不同的应用场景提升信息的致密度,准确度,服务更高效的交通,甚至于提供相关的决策力。这是对智慧高速的终极期许!

一、智慧高速在升级

智慧高速的建设以及目标将会是分阶段,分目标完成的,比如,智慧高速上的摄像头将更加密集,从现在的2公里一个,加密到1公里一个;每隔一定距离将设置卡口,可识别经过的每辆车车牌,实现跟踪感知违规行驶行为、实时反映路况等功能。

这其中,关键的感知监控方案,有不少讲究的地方。

视频方案的问题是比较清楚的,局限于相机自身的缺陷,如易受环境影响,在光线较差或较强的环境下,误判率高;探测精度低;探测距离短等。同时在路端计算需要非常强的算力, 在云端又会有带宽和实时性的影响等。

因此,在车或人流量大的路口,仅仅依靠视频方案极易出现安全误报、错报等问题,无法实现稳定、安全的智慧道路目标。

而激光雷达本身是对光线不敏感,无论白天黑夜都不影响其感知效果,因此大大增强了感知的适应性和准确性。

同时,视频方案在弱光,逆光以及强光环境中的探测效果容易出现图片模糊,甚至看不清的状况,特别在夜晚环境中,视频方案基本失去作用。

而对于激光雷达来说,并不受光线条件的限制,在弱光,逆光以及强光环境下,甚至黑夜,其点云效果均可以保持正常状态。

以往高速公路仅用过单线式的激光雷达,主要用途是区分车辆作交通流量调查,还有收费站自助发卡车道的辅助车型分类 ,以及用作车辆长宽高的判别(基于道路超限管控的需求,超过一定尺寸的车辆不允许驶入高速 )。

智慧高速在初探阶段,目前有些省份已经不满足于仅通过摄像机获得道路信息,开始尝试各种传感器的融合,力求获取高精度的路况信息用做提高调度指挥效率,减少事故,提升安全运营水平,但现在主要以毫米波雷达配合摄像机的方案为主。

毫米波雷达与红外、视频、激光等光学导引头相比,毫米波导引头穿透雾、烟、灰尘的能力强,具有全天候全天时的特点。常用于道路车辆目标、车速的监测。但毫米波雷达也有自己的局限性,比如对于多目标跟踪监测、静止障碍物以及微小物体的监测显得性能不足。

相比较而言,高线束的激光雷达在分辨率、测试精度以及对道路环境致密信息的覆盖上,更胜一筹,能够满足更高级别自动驾驶和监管的需求。

比如,Innovusion(图达通)公司推出的300线图像级激光雷达,线束可达到市面上32线激光雷达的10倍,其分辨率接近早期VGA显示器的效果,可以获得物体表面更多反射点。

在垂直方向角分辨率上,垂直角分辨率可精确到0.13° ,是32线激光雷达的4.6倍,是唯一可以分辨远距离小物体的激光雷达。对行人实际可探测与识别能力达到200米以上。多目标跟踪监测、静止障碍物以及微小物体的监测,对于图像级激光雷达而言,则不在话下。

线束超过百线的激光雷达,特别是图像级激光雷达,在性能以及环境适应性上,已经大大优于传统的视觉以及毫米波雷达。

二、路侧激光雷达,势在必行

浙江、山东等一些省份已经开始探索在高速公路上实现自动驾驶,激光雷达在高速V2X项目中也将获得很大的市场,但是高速公路这类传统的领域对于新兴产品的需求量不会立马爆发,需要不断的引导。

目前,全国高速已配置了约2万套激光雷达 ,激光分型约使用2000套,长宽高检测设备约3000套左右,主要是在2019年底全国省界收费站取消项目中使用的。

智慧高速,特别是支持自动驾驶的高速公路,路侧要部署如RSU,边缘计算机处理(Mobile EdgeComputing, MEC),摄像头,交换机, 5G 网络,路侧终端平台,终端平台,还要部署激光雷达等其他设备。

激光雷达是传感器单元,通过雷达可以获取高密度,图像级点云数据,包括道路静态环境和移动物体的三维信息。

相比传统的传感器,激光雷达的优势在于可以从点云图像中,获取道路斑马线以及斑马线区域经过的行人和车辆等,清晰的人行道区域有利于划定电子围栏区域。

此外,探测距离可以达到280m,利用超长探视距离可以实现超视距探测,能为行驶的车辆提供超视距的预警信息以及道路拥堵情况。

通过激光雷达收集到的包括远距离处的点云数据经过网线或光纤传送至 MEC,可以对道路车流量以及车辆等待时长进行统计,进而判断道路的拥挤状况。

不同距离处的道路信息包括感知结果可以通过由MEC经过RSU反馈至客户车辆端,使得车辆可以获取远距离处的交通状况,从而达到交通预警的作用,防止碰撞等系列交通事故发生。

同时,这些道路信息也可以经MEC发送至终端服务器或展示平台进行实时道路交通状况监测,或者进行数据二次开发。

车辆就可以通过这些信息对交通是否拥挤等状况进行判断,实时进行车辆运行状态调整,选择合适的行驶道路和有效地避免碰撞等交通事故的发生。

Innovusion图达通的路侧激光雷达产品,通过光脉冲可以将周围100X40°视野范围内的场景构建出来,包括周围的静态环境和道路上行驶的车辆行人。雷达每秒能输出100万个点,并且集中在水平方向100°的视野内,可生成图像级点云,更有利于物体识别。

具有致密点云和广视角、远距离探测性能的激光雷达,相比毫米波雷达、摄像头性能翻倍,因此在进行路端布置时,可以有效的减少沿路布置数量,降低总体采购成本,简化整个系统,提高系统可靠性。

三、从高速到普速的大市场

目前,在高速公路上使用高线束的激光雷达尚在初步探索,正在结合全国各地智慧高速及车路协同的试点推广。

全国已通车的高速公路超过15万公里,未来10年内在路侧每250米布设一套激光雷达,主要用于辅助无人驾驶以及替代目前的单线激光交调、事件检测产品。

另外,在全国三万多个收费站入口治超检测项目中做车辆的长宽高尺寸识别。在高速公路应用成熟后逐步进入国省道及干线公路。

不久前,山东交通运输系统发布通知,将根据《数字山东发展规划(2018—2022年)》,全面提升信息化、数字化水平。

按照“全国领先、远近结合、适度超前、先进实用、标准统一”的原则和“全天候通行、全路段感知、全过程管控”的目标,加快推进济青中线、京台高速公路泰安至枣庄段两个智慧高速公路示范项目建设。

在全国,北京和河北有延崇、京雄、大兴新机场;浙江有杭绍甬、沪杭甬等等;广东有南沙大桥和广乐;江西有宁定、昌九;吉林有珲乌;江苏有S342无锡段、G524常熟段等等;福建、湖南、河南、山东、海南等省份也都有智慧高速示范工程。

需要强调的是,高速公路相对于其他行业来说有一定的行业壁垒,产品竞争的激烈程度远不如普通民用产品市场,产品质量过关并且能准确把握用户需求点很可能在短时间内获取大批量订单。

按照高工智能汽车研究院发布的车路协同市场数据报告,未来五年仅国内车路协同示范项目对路侧(高速公路)激光雷达的需求规模就接近20亿元。考虑到新基建及5G部署的较快,这块细分市场的需求也将可能持续放大。

以目前各大一二线城市推动的5G公交等等城市公共交通智能化升级,在未来五年将为交叉路口激光雷达带来超过60亿元的市场需求。

推进交通运输基础设施数字化,完善各市公路网信息采集体系,推动数字高速建设,为智能网联汽车应用提供支撑,将成为未来智慧高速的趋势和目标。

本文来自腾讯新闻客户端自媒体


来源 : 腾讯新闻 发布时间 : 2020-05-08

牵动产业链,广东“双十”产业集群崛起


4月中旬,广州增城,“幸福田园”智慧农业示范基地,一架架极飞无人机低空盘旋,正在进行水稻播撒作业。广州极飞科技有限公司数据显示,今年前4个月无人机销售额已超过去年全年。

极飞科技的生产提速,只是广东产业链供应链强有力保障的一道缩影。广东是全国制造大省、外贸大省,“广东制造”在全球产业链供应链中占有重要地位,也在一定程度上受到国际疫情蔓延的不利影响。

省工业和信息化厅数据显示,目前全省规上工业企业复工率达到99.2%,已基本全面复工。“这次疫情,让我们进一步感受到了广东产业链的强度和韧性。”省工信厅运行监测与综合分析处处长张会洋表示。

接下来,广东将采取多方面举措,保产业链供应链稳定,短期盯住重点企业疏通产业链供应链,帮助相关企业寻找国内供应商,切实保障企业持续稳定生产;长期要通过培育“双十”产业集群稳链补链强链延链控链,形成更加强大、更加坚韧的产业链供应链。

稳定生产

重点聚焦“链主”企业,推动上下游复工复产

经济生产环环相扣,产业链供应链是重要支撑。疫情之下,稳定产业链供应链,成为推动复工复产的关键。

据了解,工信部推出“一企一策”解决困难,目的就是通过龙头企业的带动贯通产业链的循环。监测数据显示,全国92家龙头企业共带动上下游40余万家中小企业协同联动复工复产。

受疫情影响,不少广东企业也感受到巨大压力。稳定产业链供应链,龙头企业是关键。

省政府副秘书长陈岸明在新闻发布会上表示,广东重点聚焦产业集群的“链主”企业,带动产业链的“上下游”众多配套企业稳定生产。目前,全省102家重点制造业企业全部复工复产,龙头企业省内外供应商全部复工复产,全省规上工业企业复工率达99.2%,企业开足马力提升产能,为实现全年工业经济发展目标夯实了基础。

为推动龙头企业及其产业链企业复工复产,省工业和信息化厅梳理了102家制造业重点企业名单,并建立“一对一”跟踪服务机制,围绕重点企业的“产权树”(即关联企业与重点企业存在产权关系)、“供应链树”(即关联企业系重点企业的上游供应商)、“销售树”(即关联企业系重点企业的下游客户)完善关联企业群,打通上下游产业链,全方位推动企业复工复产。

围绕“三棵树”做文章,“一企一策”服务重点企业成效凸显,在疫情期间已协调华为省内209家、中兴21家、美的167家、TCL321家、广汽集团343家供应商复工复产。

国产替代

坚持自主创新技术革新,推进“国产替代进口”

不久前,广州奥松电子有限公司(下称“奥松电子”)成功推出新一代呼吸机关键零部件——流量传感器。“经测试可完全匹配进口产品,部分性能甚至优于进口产品,接下来即可投入量产。”奥松电子副总经理陈新准表示。

受国际疫情影响,原本依赖进口的呼吸机流量传感器在国内市场出现紧缺。关键时刻,奥松电子瞅准时机顺势推进技术替代。而这也与工业和信息化部最新部署相吻合。

4月9日,工业和信息化部网站发布消息称,针对全球疫情蔓延可能引发的断供,将指导企业寻求可替代产品,增强产业链抗风险能力。

当前,包括电子信息产业在内的“广东制造”,已深度融合在全球产业链中,形成“你中有我、我中有你”的全球化格局。疫情影响下,近期欧美部分企业停工,相关企业面临断供风险,而这也给国内企业带来了“技术替代”的窗口。

“我们希望更快实现对进口的替代,并满足全球供应的需求。”粤芯半导体市场及营销副总裁李海明表示,今年底前,投资65亿元的粤芯半导体二期项目将进入设备调试,争取明年上半年实现量产;预计到2022年,一期、二期将实现月产4万片12英寸晶圆的产能。

“保产业链供应链稳定,关键在于国产化,要实现‘内循环’。”明阳智慧能源集团股份公司董事长张传卫认为,目前美国、日本等国提出的产业回流,对我们国家的产业安全、产业创新也有启示,就是必须坚持自主创新,培育自己的核心供应链,才能不受制于人。

前瞻布局

培育“双十”产业集群,推动广东制造稳中求进

“这次新冠肺炎疫情,让我们进一步感受到了广东产业链的强度和韧性。能在较短时间内组织推动大量企业扩产转产口罩、防护服等疫情防控物资,就是因为拥有完整的产业体系和产业链条。在列入全国统计的41个大类工业行业中,广东有40个,产业配套能力无与伦比。”张会洋表示。

接下来,为打造更加强大、更加坚韧的产业链供应链,广东提出通过培育“双十”产业集群,来稳链补链强链延链控链。

省工业和信息化厅介绍,广东初步制定了《广东省培育发展“双十”产业集群行动计划编制工作方案》,选定具有产业基础优势和核心竞争力的10个战略性支柱产业集群和10个战略性新兴产业集群进行重点培育。

其中,10个战略性支柱产业集群突出“稳”,包括新一代电子信息、绿色石化、智能家电、汽车产业、先进材料、现代轻工纺织、软件与信息服务、超高清视频显示、生物医药与健康、现代农业与食品;10个战略性新兴产业集群体现“进”,包括半导体及集成电路、高端装备制造、智能机器人、区块链与量子信息、前沿新材料、新能源、激光与增材制造、数字创意、安全应急与环保产业、精密仪器设备。

据了解,“双十”产业集群行动计划将按照“成熟一个出台一个”原则,在6月底前分期分别印发实施。其中,新一代电子信息、绿色石化、智能家电、汽车产业、超高清视频显示等5个战略性支柱产业集群拟在近期出台。

“‘双十’产业集群培育既立足当前,更着眼长远。”省工业和信息化厅相关负责人表示,短期看,“双十”产业集群行动计划的实施,将有力提振企业扎根实体经济、扎根制造业的信心和士气;长期看,随着“双十”产业集群加快培育,必将在壮大产业规模、带动全省经济社会发展的同时,不断提升广东产业链的强度和韧性,进一步增强相关产业的国际竞争力,促进广东制造行稳致远。


●南方日报记者 李凤祥 彭琳 王彪 实习生 张雨

发布时间 : 2020-05-07

科学家实现中红外波段大能量飞秒涡旋激光输出

中国科学院上海光学精密机械研究所强场激光物理国家重点实验室在大能量中红外飞秒涡旋激光方面获新进展。研究人员提出了利用空间相位调制结合光学参量啁啾脉冲放大技术产生超强超短涡旋激光的方法,并首次实现中红外波段的大能量飞秒涡旋激光输出。相关研究成果近日在线发表于《光子学研究》,并被遴选为当期的“编辑推荐”文章。

与高斯光束相比,涡旋光携带轨道角动量,在量子信息、光捕获和操纵、超分辨率显微等前沿研究领域具有广泛应用价值,尤其是中红外高峰值功率的涡旋激光在驱动高次谐波产生具有轨道角动量的相干X射线方面具有重大应用前景,但利用传统方法难以直接产生高峰值功率的中红外涡旋激光。

为此,研究人员利用非线性频率变换的方法获得了中红外4微米波段的高性能种子源,通过特殊设计的相位调控元件获得涡旋种子激光,经过高增益光学参量放大和精密色散控制后,获得了脉冲能量达10 毫焦、脉冲宽度为百飞秒量级的中红外涡旋激光。并进一步验证了输出激光的拓扑荷数,证实了该方法对于涡旋特性的高保真度。

研究人员表示,这种高能量中红外飞秒涡旋激光为强场物理领域提供了一种新工具,并有望进一步扩展到其他波长或者更高峰值功率的涡旋光激光系统,实现相对论强度的涡旋激光,并将极大地推动相关前沿领域的发展。

据悉,该项工作得到了中国科学院先导B类专项、国家自然科学基金委、上海市科委等项目的支持。


来源 : 中国科学报 发布时间 : 2020-05-04

世界上第一台“超手性光”激光器诞生!

世界上第一台产生“超手性光”的超表面激光器诞生:具有超高角动量的光。来自该激光器的光,可以用作光通信中的一种“光学扳手”,或用于对信息进行编码。领导这项研究的南非约翰内斯堡威特沃特斯兰德大学(Wits)物理学院的安德鲁·福布斯教授说:因为光可以携带角动量,这意味着这可以转移到物质上,光携带的角动量越多,它可以传递的越多。

所以你可以把光想象成一把‘光学扳手’,而不是使用物理扳手拧东西(如拧螺母),现在你可以用光线照射螺母,它会自动拧紧。新激光器产生一种新的高纯度“扭曲光”,这是以前从激光器中观察不到的,其中包括激光器报告的最高角动量。同时,研究人员开发了一种纳米结构的亚表面,它具有有史以来最大的相位梯度,并允许在微型设计中进行高功率操作,这意味着这是一种世界上第一台激光器

可以根据需要产生奇异的扭曲结构光状态,其研究成果发表在《自然光子学》期刊上。该研究是WITS与南非科学与工业研究委员会(CSIR)、美国哈佛大学、新加坡国立大学、比利时布鲁塞尔Vrije University和CNST-Fondazione Istituto Italiano di Tecnologia通过Giovanni Pascoli(意大利)合作完成。这是一种新的激光,可以产生任何所需的手性光状态。并完全控制光的角动量(AM)分量、光的自旋(偏振)和轨道角动量(OAM)。

由哈佛大学研究小组设计的新型纳米尺寸(比人类头发的宽度小1000倍)亚表面在激光器中提供了完全的控制,使得激光设计成为可能。超表面是由许多微小纳米材料棒组成,当光线通过时,它们会改变光线,光多次穿过变形曲面,每次都会接收新的扭曲。特别之处在于,对于光来说,这种材料具有在自然界中找不到的特性。因此被称为“超材料”,这是一种虚构的材料,因为这种结构非常小,所以只出现在表面上,形成一个超表面。

其结果是产生了新形式的手性光,到目前为止还没有从激光上观察到,并在光源上完全控制了光的手性,结束了一项开放的挑战。目前有一股强大的驱动力,试图用扭曲光来控制手性物质,而要做到这一点,需要扭曲程度非常高的光:超手性光。各个行业和研究领域都需要超手征光来改进工艺,包括食品、计算机和生物医药行业。在物理机械系统无法工作的地方,可以用这种类型的光驱动齿轮,比如在微流控系统中驱动流量。

手性挑战

研究的目标是在芯片上而不是在大型实验室里进行药物治疗,通常被称为芯片上实验室。因为一切都很小,所以光被用来控制:移动东西并对东西进行分类,比如好的和坏的细胞。扭曲的光可以用来驱动微型齿轮来推动流动,并用光来模拟离心机。“手性”是化学中经常使用的一个术语,用来描述作为彼此镜像的化合物。这些化合物有一种“惯用手”,可以被认为是左撇子或右撇子。例如,柠檬和橙子是味道相同的化合物,只是它们的“惯用手”不同。

光也是有手性的,但有两种形式:自旋(偏振)和OAM。自旋AM类似于围绕自己轴旋转的行星,而OAM类似于绕太阳运行的行星。在光源上控制光的手性,是一项具有挑战性的任务,也是一项高度专题性的任务,因为需要它的应用很多,从手性物质的光学控制,到计量学,再到通信。完全的手性控制意味着可以控制光的全部角动量、偏振和OAM。由于设计限制和实现障碍,到目前为止,只产生了非常小的手性态子集。

变形表面激光器

研究已经设计出巧妙的方案,可以控制OAM光束的螺旋度(自旋和直线运动的组合),但它们也仅限于这组对称的模式。到目前为止,还不可能写下一些所需的光手性状态,然后用激光器产生它。该激光器使用变形表面使光具有超高的角动量,在相位上有前所未有的“扭曲”,同时也控制了偏振。通过任意的角动量控制,可以打破标准的自旋-轨道对称性,使第一个激光器在光源处产生完全的光角动量控制。

这种准表面是由精心制作的纳米结构制成,以产生所需的效果,是迄今为止制造的最极端OAM结构,具有迄今最高的相位梯度。亚表面的纳米分辨率使低损耗、高损伤阈值的高质量涡旋成为可能,使激光成为可能。结果是一种激光器可以同时在10和100的OAM状态上产生激光,以获得迄今为止最高的AM。在变形表面被设置为产生对称状态的特殊情况下,激光器然后产生从定制结构光激光器所有先前的OAM状态。

展望未来

研究发现特别令人兴奋的是:该方法适用于许多激光架构。例如,可以增加增益体积和变形表面大小,以生产高功率的块状激光器,或者可以将系统缩小到使用单片变形表面设计的芯片上。在这两种情况下,激光模式都将由泵浦的偏振来控制,除了亚表面本身,不需要腔内元件。研究代表着朝着将块状激光器的研究与片上器件研究相结合迈出了重要的一步。

博科园|研究/来自:威斯大学


来源 : 博科园 发布时间 : 2020-04-29

深度好文:大功率半导体激光器研究进展

本文作者王立军,宁永强,秦莉,佟存柱,陈泳屹,发光学及应用国家重点实验室,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,仅作交流学习之用,感谢分享!

引言

激光是 20 世纪以来继原子能、电子计算机、半导体之后人类的又一重大发明。半导体激光科学与技术以半导体激光器件为核心,涵盖研究光的受激辐射放大的规律、产生方法、器件技术、调控手段和应用技术,所需知识综合了几何光学、物理光学、半导体电子学、热力学等学科。

半导体激光历经五十余年发展,作为一个世界前沿的研究方向,伴随着国际科技进步突飞猛进的发展,也受益于各类关联技术、材料与工艺等的突破性进步。半导体激光的进步在国际范围内受到了高度的关注和重视,不仅在基础科学领域不断研究深化,科学技术水平不断提升,而且在应用领域上不断拓展和创新,应用技术和装备层出不穷,应用水平同样取得较大幅度的提升,在世界各国的国民经济发展中,特别是信息、工业、医疗和国防等领域得到了重要应用。

当前,国际上半导体激光的发展正处于新一阶段的快速发展时期,而我国的激光科学技术基本保持了与国际同步发展的态势。从社会全面发展、产业经济提升、国防安全应用和经济结构转型等各方面,从国家竞争性发展的角度,对包括半导体激光科技的全面创新和产业应用的转型发展提出了更为明确的需求。本文对半导体激光器的发展历史和现状进行了综述,并且具体介绍了长春光学精密机械与物理研究所近年来在大功率半导体激光器,特别是在大功率半导体激光器的激光光源、垂直腔面发射激光器和新型激光器芯片等方面所取得的成就。

大功率半导体激光器的发展历程

1962 年,美国科学家宣布成功研制出了第一代半导体激光器———GaAs 同质结构注入型半导体激光器。由于该结构的激光器受激发射的阈值电流密度非常高,需要 5 × 10^4 ~ 1 × 10^5 A/ cm2,因此它只能在液氮制冷下才能以低频脉冲状态工作。从此开始,半导体激光器的研制与开发利用成为人们关注的焦点。

1963 年,美国的 Kroemer 和前苏联科学院的Alferov 提出把一个窄带隙的半导体材料夹在两个宽带隙半导体之间,构成异质结构,以期在窄带隙半导体中产生高效率的辐射复合。随着异质结材料的生长工艺,如气相外延(VPE)、液相外延(LPE) 等的发展,1967 年,IMB 公司的 Woodall 成功地 利 用 LPE 在 GaAs 上 生 长 了 AlGaAs。在 1968—1970 年期间,美国贝尔实验室的 Panish, Hayashi 和 Sμmski 成功研究了 AlGaAs/GaAs 单异质结激光器,室温阈值电流密度为 8.6 × 10^3 A/ cm2,比同质结激光器降低了一个数量级。

正当美国学者们致力于单异质结激光器的研究时,前苏联科学院约飞物理研究所的 Alferov 等宣布研制成功双异质结半导体激光器( HD-LD) 。该结构是将 p-GaAs 半导体有源区夹在宽禁带的n-AlGaAs 层和 p-AlGaAs 层之间,使得室温下的阈值电流降低到 4 × 10^3 A/cm2。双异质结构半导体激光器阈值电流密度之所以能够明显降低,主要是依靠双异质结的两个作用: ( 1) 有源区两边包层材料的带隙宽于有源区材料的带隙,这使得注入双异质结半导体激光器的载流子被有效地限制在有源区内,以利于产生高的增益; ( 2) 有源区材料的折射率大于两边包层材料的折射率,形成的光波导结构能将大部分光限制在有源区内。

双异质结构激光器的问世标志着半导体激光器的发展进入了新时期。1978 年,半导体激光器成功地应用于光纤通讯系统中。随着新材料、新结构的不断涌现,半导体激光器的电学和光学性能有了很大的提高。进入 20 世纪 80 年代以后,由于引入了半导体物理研究的新成果———能带工程理论,同时晶体外延材料生长新工艺如分子束 外 延 ( MBE ) 、金属有机化学气相沉积( MOCVD) 和化学束外延( CBE)等取得重大成就,使得半导体激光器成功地采用了量子阱和应变量子阱结构,制备出了许多性能优良的激光器件,如各类量子阱激光器、应变量子阱激光器、垂直腔面发射激光器和高功率半导体激光器阵列等,实现了高功率输出。

量子阱激光器窄带隙有源区材料的厚度通常小于电子在该材料的德布罗意波长( 一般小于10 ~ 20 nm) ,这样能使注入的电子被势阱有效地吸收。在量子阱中电子和空穴沿着垂直阱壁方向的运动呈现量子化的特点,电子的态密度也变为阶梯状,这时只需要很小的注入电流就可以实现粒子数反转,因此量子阱激光器具有很小的阈值电流、很高的微分量子效率和高输出功率。

1977 年,日本东京工业大学的伊贺健一( Kenichi Iga) 提出垂直腔面发射激光器( Vertical- cavity surface-emitting laser,VCSEL) 的概念,其工作原理如图 1 所示。这种激光器由于光学谐振腔与半导体芯片的衬底垂直,因此能够实现芯片表面的激光发射,有着低阈值电流、稳定单波长工作、可高频调制、容易二维集成、没有腔面阈值损伤等优点。随着材料生长工艺的成熟和器件结构的优化,VCSEL器件在低阈值电流及室温工作等方面取得了一系列进展,并于1988年实现了室温连续激射。目前,VCSEL已经在光通信、光互连、激光引信、激光显示、光信号处理以及芯片级原子钟等领域获得了广泛的应用。

随着理论研究和制备工艺的发展,尤其是在美国SHEDS、ADHEL和德国BIOLAS等项目的支持下,半导体激光器芯片结构、外延生长和器件封装等技术均有了很大的发展。半导体激光器以其转换效率高、寿命长、体积小、重量轻、可靠性高、能直接调制及易与其他半导体器件集成等特点,在军事、工业加工、激光医疗、光通信、光存储和激光打印等信息领域中有着非常广泛的应用。

大功率半导体激光器的研究现状

现在国际上半导体激光器研究的重大技术问题是: 如何同时获得高功率、高可靠性和高能量转换效率,同时提高光束质量并拥有良好的光谱特性。随着材料生长技术和器件制备工艺的发展和进步,新的有源材料不断涌现,更好的器件结构和工艺日趋成熟,半导体激光器的功率、可靠性和能量转换效率都得到了迅速提高; 以往相比于其他激光器的劣势,如光束质量差、光谱线宽过大等问题也得到了相当程度的改善,半导体激光器的性能得到不断的提升,在很多领域正在逐渐取代其他激光光源,并且其应用前景也越来越广泛。

3.1 半导体激光器的输出功率

商用大功率半导体激光器主要工作在近红外波段,其波长范围在800 ~ 1100 nm 之间。目前,提高半导体激光器的输出功率主要有两种方式:一种是提高半导体激光器芯片上单管激光的输出功率,另一种是增加半导体激光器的发光点个数。

提高单管激光的输出功率,需要改进激光器的芯片结构,提升材料生长、芯片制备、腔面镀膜及封装散热等关键技术。增加激光器发光点的个数则主要表现为激光器线阵( 多个激光单元在外延层方向同芯片集成,也叫做激光器 bar 条) 、迭阵、单管模组、面阵等激光合束技术。传统激光合束(Traditional beam combining,TBC) 技术基于半导体激光器的光斑、偏振和光谱特性,单纯从外部光学系统考虑,利用空间合束、偏振合束和波长合束对单管、线阵和迭阵进行能量合束和光束整形。外腔光谱合束( External cavity feedback wavelength beam combining,ECFWBC) 技术利用光栅进行外部光学反馈实现光谱合束,可以在提高功率的基础上保证良好的光束质量。

3.1.1 单管输出功率及单管合束光源

近几年来,半导体激光器近红外波段的输出功率得到了显著提高,目前单管激光器的连续输出功率已超过 10 W,最高可达到 25 W,如表 1所示。

半导体激光器单管合束是由激光单管组成的最小光学模组,可以直接合束实现光纤输出。激光器单管合束的优点是: 寿命长、可靠性高,慢轴光束质量比较好,可耦合进芯径≤100μm的光纤; 由于热源分散且发热量小,可以采用传导冷却或风冷,因而光源模组整体体积小,重量轻; 无需高电流驱动,可以采用并联方式,对电源要求也比较低。但是,相对于线阵和迭阵,激光单管经过合束后输出的功率一般为数百瓦,因此一般用在功率需求为几十瓦至数百瓦、或者对体积和可靠性要求非常高的场合,如光纤激光器泵浦、激光医疗等。

近年来,单管耦合光源的应用范围越发广泛,发展迅速。美国Fraunhofer USA 采用 120个单管耦合进 200 μm 光纤,功率输出 > 700 W。美国 nLight 采用 72 个 940 nm 波长的单管,排列成 4 个单元,实现光纤输出 700 W 连续功率 。

3.1.2 激光器线阵输出功率与线阵合束光源

随着技术发展和单管输出功率的提高,半导体激光bar条的输出功率也显著增加。厘米 bar条的输出功率从 2000 年时的 240 W 已经提高至1 000 W 左右,增大到原来的 4 倍,增长非常迅速,如表 2 所示。

半导体激光器线阵合束,指的是若干传导冷却或大通道热沉封装的激光器线阵,通过光学元件实现分立空间位置上的激光能量叠加。这种激光器线阵合束技术的优点是线阵光路独立,装调简便精度高,不存在公差积累问题; 热源分散,可以采用传导冷却或大通道水冷,散热要求低; 线阵之间的电连接与冷却液隔绝,因而可以采用普通纯净水作为冷却液; 被准直的线阵光束不受热沉厚度影响,合束光斑无暗区叠加。但是,由于半导体激光器线阵排布比较分散,所以相同功率的线阵合束光源体积明显大于迭阵合束光源。考虑到总体积和光路复杂性,参与合束的激光器线阵一般不超过 50 个,因此该技术适用于输出功率为数百瓦级至 3 000 W 级的应用场合。

近年来,半导体激光器线阵合束的研究也有了很快的发展。德国 Limo 采用 38 个传导热沉封装激光器线阵,形成 8 个线阵合束单元,实现了 200 μm 芯径、0. 22 数值孔径的光纤的 1 200 W功率输出。德国 Dilas 采用 28 个激光器线阵,实现了 200 μm 芯径、0.22 数值孔径的光纤的 775 W 功率单波长激光输出,然后通过波长合束,实现了 500 μm 芯径、0.12 数值孔径的光纤的 3 835 W 连续功率输出。德国 Trumf 采用低填充因子的激光器线阵,制成 100 μm 芯径、0.12 数值孔径的光纤的 100 W 线阵合束模块,然后以 19 个模块经过光纤捆绑方式实现空间合束,再通过波长合束方式实现 600 μm 芯径、0.12 数值孔径的光纤的 3 000 W 连续功率输出。

3.1.3 激光器迭阵合束光源

半导体激光器迭阵是通过若干微通道热沉封装的bar条在快轴方向直接堆叠而成,激光器迭阵合束技术是高功率半导体激光光源最常采用的合束方式。

在可以保证单层激光器bar条连续输出数百瓦激光功率的情况下,受限于热沉内微通道的水压降,激光器迭阵中激光器 bar 条数一般不能超过 50 层。这样,单个激光器迭阵能够实现连续工作数千瓦的激光输出。通过增加激光器迭阵数量进行激光合束,能够实现上万瓦甚至数十万瓦的半导体激光输出。激光器迭阵光源具有结构紧凑、体积小( 包括微通道热沉在内,单个激光器bar条体积为 0.6 cm3 左右,50 层 bar 条不超过 30 cm3 ) 的优点,是目前半导体激光光源实现高功率输出的主要封装方式。

激光器迭阵通过热沉与激光芯片之间的串联加电,另外,微通道热沉中水道截面直径在微米量级,容易发生堵塞,这就要求激光器迭阵的冷却液必须采用高度绝缘性的纯净去离子水,并定期维护更换,因而对冷却液和热沉的要求非常高。

综合考虑输出功率和可靠性等方面,在要求连续输出 3 000 W 甚至更高功率的应用场合,应该使用基于激光器迭阵的半导体激光合束技术。

德国Laserline公司基于激光器迭阵,结合平行平板堆整形方法和激光合束技术,已研制出了多种半导体激光直接加工机,代表参数如表 3 所示。15 kW 功率的光束质量为 100 mm·mrad,2 kW 功率的光束质量为20 mm·mrad,后者超过了相同功率下灯泵 Nd∶ YAG 激光的光束质量。该公司半导体激光光源保质期长达 5 年( 43 800 h) ,是灯泵 Nd∶ YAG 激光( < 2 000 h) 的数十倍,这使得它在材料加工市场非常具有竞争力。目前该公司产品已直接应用在熔覆、表面强化、金属焊接和深熔焊等材料加工领域。

3.2 半导体激光器的转换效率

半导体激光器的功率转换效率是半导体激光器非常重要的指标之一。高转换效率的半导体激光器产生的废热少、能量利用率高,可以大大延长器件的工作寿命,提升可靠性; 同时也意味着可以采用更小、更轻、更经济的冷却系统,使得半导体激光系统的移动平台具有无可比拟的优点。

随着技术的发展和各国科研项目的支持( 美国国防先进技术研究计划署( DARPA) 专门设立了提高半导体激光器的电光转换效率到 80% 为目标的超高效率激光器光源( SHEDS) 项目) ,高功率半导体激光器光源的效率已经达到很高的水平。红外波段可达到 70% 以上。目前国际上关于高功率半导体激光器件的转换效率与波长对应关系如表 4 所示。

3.3 半导体激光器的可靠性

半导体激光器的可靠性在应用中是一个重要的技术指标。在通信、光存储等领域,小功率半导体的可靠性已基本解决,工作寿命可以达到实用要求。高功率半导体激光器在大电流工作连续输出时面临着端面灾变性损伤、烧孔、电热烧毁、光丝效应,以及微通道热沉的寿命等基本问题。解决这些问题一般通过以下方法: 提高晶体生长质量;改进制备工艺和封装技术;增大光斑尺寸;优化传热结构和散热方法等。

近年来,由于半导体激光器转换效率的提升和封装散热工程的改进,半导体激光器单管报道的最长寿命很多已达到十万小时以上,线阵的可靠性也有了非常明显的提高。单管和 bar 条的研究进展如表 5 和表 6所示。

3. 4 半导体激光器的光束质量

在激光医疗、显示、自由空间光通信、泵浦光纤激光器、直接材料加工等应用领域,需要激光光源同时满足高输出功率和高光束质量。传统的宽条结构的半导体激光器虽然具有高功率、高效率的优点,但其易于产生光丝效应和复杂多瓣的近场图案,光束质量不高。

为了改善半导体激光器单管的光束质量,通常可以通过改变芯片结构和加工工艺,使得出射激光在侧向和横向受到一定的限制,从而保持出光模式 单 一 稳 定; 而采用外腔反馈光谱合束( Wavelength beam combining,WBC) 技术,则可以改善半导体激光器合束光源的光束质量。

3.4.1 半导体激光器单管的侧向模式限制

改善半导体激光器单管的侧向模式,最简单的方法是采用脊形波导(Ridge waveguide,RW),在激光器侧向引入选模设计,改善光束质量并提高亮度。但是脊形波导对侧向模式限制比较弱,在大电流高功率工作时,高阶模容易激射。

在提高侧向光束质量方面,当前的代表性器件是种子振荡功率放大器( Master oscillator popwer amplifier,MOPA) 结构的锥形激光器,如图 2 所 示。MOPA 结构是指将具有较小功率和极高光束质量的单模种子振荡源 ( Master oscillator, MO) 激光注入到半导体放大器( Power amplifier, PA) 中进行放大,当采用整个芯片作为谐振腔单片集成时就是所说的锥形激光器。其优点是只需一次外延生长,易于制造而且结构紧凑,还可以集成光栅等结构用于进行光谱线宽的调制。

锥形激光器诞生已将近 20 年,其性提升非常快。德国 FBH 研究所先后报道了多种波长的锥形激光器。其中,808 nm 波长器件的近衍射极限连续输出功率可达 4.4 W,光束质量为 1.9 mm·mrad,在 3.9 W 功率下光束质量为 1.3 mm· mrad,亮度为 460 MW·cm^ - 2·sr^ - 1; 在脉冲条件下工作输出功率可达 27 W,近衍射极限输出功率可达 9 W。979 nm 波长的 DBR 锥形激光器连续输出功率达到了 12 W,转换效率约为 44% , 在 11. 4 W 时光束质量为 1.1 mm·mrad,亮度可达 1 100 MW·cm ^- 2 ·sr ^- 1。1 060 nm波长的DBR 锥形激光器的输出功率达到了 12.2 W,10 W时光束质量仅为 1. 2 mm·mrad,线宽只有 17 pm ( FWHM) ,亮度达到了800 MW·cm ^-2·sr ^-1。

其他用于激光器单管的侧向模式限制的方法还有倾斜光栅分布反馈激光器以及平板耦合波导半导体激光器等。

3.4.2 半导体激光器单管的横向模式限制

2002 年,Ledentsov等提出了一种基于纵向光子带晶体波导的新型激光器结构,它在激光器垂直方向采用周期性生长的半导体层构成有带隙的光子晶体进行光限制。随着这一技术的提出,传统芯片光束质量差的问题得到了很大的改善。半导体激光器可以从芯片上实现大模式光斑尺寸、低腔面损伤阈值、单横模、低发散角、近圆形光斑工作,因而更容易获得高光束质量和高亮度激光。近几年来,这种基于光子带晶体波导的新型激光器得到了快速的发展,性能指标如表 7 所示。

3. 4. 3 半导体激光器外腔反馈光谱合束技术

由TBC原理,通过空间合束增加激光功率,会导致激光系统整体的光束质量降低。偏振合束和波长合束技术只能在维持光束质量不变的情况下,以一定的倍数提高激光功率。TBC 光源的光束质量一般远大于激光单元的光束质量。

ECFWBC 技术结合半导体激光内部振荡与外部光学系统反馈,实现每个激光单元的谐振波长均与外部光栅色散和外腔反馈匹配,使得所有激光单元沿相同方向谐振,以保持近场和远场相重合的方式输出。合束激光的光束质量与单个激光单元一致,激光功率为所有激光单元总和,其原理如图 3 所示。因此只要激光单元具有高光束质量,半导体激光合束光源也可实现近衍射极限的高功率激光输出。这种 ECFWBC 技术有着衍射效率高、损伤阈值高、耦合单元多、更容易输出高功率等优点。

美国麻省理工( MIT) 、美国 Teradiode、美国Coherent、美国 Aculight、法国 Thales 和丹麦科技大学(DTU) 在 ECFWBC 技术的研究上取得了重要进展,如表 8 所示。美国 Teradiode 公司已达到商品化水平,2012 年,其 2 030 W 半导体激光合束光源产品已达到相同功率条件下商用全固态激光水平。

3. 4.4 高功率半导体激光合束光源的光束质量

图 4 为近年来高功率半导体激光器合束光源的光束质量发展进程。从 1998 年至 2007 年,相同功率激光的光束质量提高近 10 倍。从 2007 年 到 2012 年,基于传统激光合束的光源光束质量在千瓦至万瓦量级提高 3 倍左右,接近并部分达到灯泵 Nd∶ YAG 激光器水平。光谱合束技术大大提高了合束光源的光束质量,在百瓦至千瓦量级提高 10 倍左右,其中 940 W 光束质量为 3.5 mm· mrad,2 030 W 光束质量为 3.75 mm·mrad,达到CO2 激光器的光束质量水平; 360 W 光束质量为0.6 mm·mrad( 2 倍衍射极限) ,超过 CO2 激光器的光束质量,接近全固态激光器的光束质量水平。现在半导体激光器合束光源可以胜任包括金属切割、深熔焊等对功率和光束质量要求严格的应用领域,其中基于传统合束的半导体激光合束光源可以用于激光熔覆、深熔焊等,基于光谱合束的半导体激光合束光源达到金属切割的加工要求。

3.5 半导体激光器的窄光谱线宽窄线宽

半导体激光器在激光通信、光互联、非线性频率转换等领域有着重要的应用。一般通过在半导体激光器上制备布拉格光栅进行选频,光栅可以放在半导体激光器一端的腔面处作为波长反射器( 分布布拉格反射,DBR) 选择激射波长,或者分布在沿整个半导体激光器谐振腔( 分布反馈,DFB) ,也可以采用外部光栅( 例如体布拉格光栅——VBG,或体全息光栅——VHG) 。

3.5.1 分布布拉格反射激光器

DBR 激光器采用布拉格光栅代替激光器的一个解理腔面,不需要二次外延技术。2010 年,德国 FBH 研究所采用表面布拉格光栅获得了高功率 DBR 激光器,90 μm 条宽单管输出功率达到14 W,最大转换效率为 50% ,波长偏移为 0.074 nm /K。同年,该单位又报道了一种窄线宽脊形波导 DBR 激光器,采用六阶表面光栅,激射波长为 974 nm,单模输出功率超过 1 W,3 dB 光谱线宽仅为 1. 4 MHz。2011 年,该单位报道了窄线宽 1 064 nm 波长 DBR 激 光 器,半 高 全 宽( FWHM) 为 180 kHz,在 180 mW 功率下本征线宽仅为 2 kHz,波长偏移为 0.083 nm /K。

3. 5.2 分布反馈激光器DFB 激光器

最早由贝尔实验室的 H. Kogelikn等于 1972 年提出并在 1975 年实现室温连续工作,之后在光通信领域得到了重视并迅速发展,其研究进展如表9所示。DFB 激光器的特点是光栅分布在整个谐振腔中,光波在反馈的同时获得增益和激射,依靠光栅的选频原理来实现波长选择。它的制作方法有两种: 一种是在生长完一部分 p 型波导层时中断,外延一层低折射率光栅层,然后将晶片移出生长反应室,采用光刻和刻蚀形成统一的光栅,然后重新外延生长反应室,在光栅上继续生长,最终形成 DFB 激光器,这种方法需要二次外延生长,对工艺要求比较高; 另一种方法是外延生长全部结束后,通过刻蚀形成表面光栅,不需要二次外延技术。

3.5.3 外腔光栅激光器

外腔光栅激光器是通过外部光栅元件的反馈和激光器腔体的谐振实现稳定波长的目的。通常外腔激光器由于采用了比较长的腔长和针对特定纵模有选择性反射的外腔光栅,可以窄化激光器线宽并且工作在单频率状态。其研究进展如表10 所示。

3.6 VCSEL 半导体激光器

由于 VCSEL 有着低阈值电流、稳定单波长工作、可高频调制、容易二维集成、没有腔面阈值损伤等优点,因而在半导体激光器中占有很重要的地位。VCSEL 器件基于 GaAs 衬底可以做到高质量的材料生长,从而获得很高的材料增益,还可以在单片上通过外延生长晶格匹配、高折射率差、较低电阻的 AlAs 和 GaAs 材料来构成 DBR。从器件性能和实用化程度来看,850 nm 波段和 980 nm波段的器件始终代表着 VCSEL 半导体激光器研究的最高水平。

3.6.1 850 nm 波段 VCSEL

850 nm 是石英系光纤的第一个低损窗口,高速调制的 850 nm VCSEL 可以用于中短距离的局域网、自由空间光通信和光互连。随着信息时代的巨大应用需求,VCSEL 的低功耗和高速调制等性能在 20 世纪 90 年代末和 21 世纪初得到迅速提高。

1998 年,ULM 大学制作了电光转换效率达到57% 的 VCSEL 器件,该指标一直保持了近 10 年的最高转换效率记录。2004 年,ULM 大学采用表面浮雕结构的器件单模达到了 6 mW,单模抑制比达到了 40 dB; 2009 年,数据传输速率达到了 32 Gbit /s。在这些进展的推进下, 850 nm 的 VCSEL 器件最早进行商业化生产。

随后,850 nm 的 VCSEL 器件在短距离光纤通信方面开始取代边发射激光器。2002 年 1 月, Ulm Photonics 公司采用 flip-chip 方法制备的 VC- SEL 列阵和分立器件速率已达 10 Gbit /s,并已大批量生产; 同期,日本 FujiXerox 开 始 批量生产VCSEL。

2003 年,Petar Pepeljugoski 等进行了多模光纤15.6 Gb /s、1 km 和 20 Gb /s、200m的传输试验,结果显示其指标符合粗波分复用(CWDM) 2 × 20 Gbit/s 以太网标准。2010 年,瑞士的 Westbergh 等进行了直接调制的多模高速器件的无错码大容量通信,拥有高达 40 Gbit /s 的传输速率。目前,850nm 的 VCSEL 可以实现最长1000 m、25 GHz 的高速通讯,通信能耗低至 69 fJ/bit。在市场上,美国的 Coherent、Honeywell、EMCORE 和 AXT 等公司以及韩国和日本的一些光通信设备制造商都有商品化的 VCSEL 器件和芯片。

3.6. 2 980 nm 波段 VCSEL

由于受到光纤激光和固体激光器泵浦、激光照明、倍频等应用方向的牵引,980 nm 波段的 VCSEL 在过去的 10 年发展非常迅速。最近几年的研制主要集中于提高面发射半导体激光器的功率和效率、实现高功率密度和高光束质量方面。

2001 年,德国 Ulm 大学报道了单管连续输出890 mW 的器件,并且使用 19 个单管并联集成了连续输出1.4W的二维面阵。2004 年,Ulm Photonics 公司实现了连续输出 6W 的集成单元面阵,共有 224 个 VCSEL,斜率效率为 0. 6 W/A,转换效率为 22% 。

美国 Princeton Optronics 公司是专门从事高功率近红外 VCSEL 的企业。该公司于 2005 年实现了 3 W 连续输出的 980 nm 器件。2007 年,该公司推出了面积为 0. 22 cm2、连续输出功率超过 230 W 的面阵,转换效率为 50% ,温度漂移系数小于 0.07 nm /℃。2010 年,该公司推出了用于近红外主动激光照明的百瓦级高功率列阵,实现了 500 m 的无散斑成像。2012 年,该公司又推出了用于固态激光泵浦的 980 nm 高功率 VC- SEL 面阵和面阵组合模块产品,面阵组合模块连续输出超过 l 4 kW。

长春光学精密机械与物理研究所在大功率半导体激光器方面的研究进展

经过研究人员的辛勤努力,长春光学精密机械与物理研究所( 简称长春光机所) 在过去几十年中在大功率半导体激光器方面取得了令人瞩目的成就。

4.1 新材料量子阱激光器

1996 年,长春光机所在国际上率先研制出808 nm 连续输出功率 3. 6 W、肖特基势垒电流限制的 InGaAsP /InGaP /GaAs 无铝量子阱新材料高功率激光器,工作寿命超过 10 000 h。808 nm 激光器线阵连续输出功率最高达 150 W,准连续输出超过 150 W,器件寿命超过 10 000 h。

2000 年,长春光机所在国际上首次研制出InGaAsP /InGaP /GaAs 无铝量子阱 808 nm 激光列阵及激光光纤耦合模块。与 GaAlAs/GaAs 半导体激光器相比,该激光器具有寿命长、可靠性高等优点。2004 年,该激光器基本满足了大功率器件的要求,达到连续光功率输出 60 W/bar,脉冲输出 100 W/bar,发射波长偏差控制在 3 nm。

4.2 大功率激光器合束光源

单纯从外部光学系统考虑,激光合束分为空间合束、偏振合束和波长合束。结合几何光学整形方式,我们研制出基于单管、线阵、迭阵3种传统激光器件的合束光源。

4.2.1 基于 TBC 技术的单管合束激光光源

激光单管是半导体激光器的最小组成单元,光束质量好、亮度高。单管合束光源无需光束整形,通过空间阶梯排列、快慢轴准直后,由各自的空间合束镜转折光路直接进行合束,然后通过扩束聚焦耦合进光纤,具有易散热、体积小、重量轻、可靠性高和成本低等优点,是光纤泵浦、激光显示和激光医疗等领域的有效光源。由于每个激光单管输出功率一般不超过 10 W,且需配备独立的快慢轴准直镜、空间合束镜,因此该光源输出功率不宜过高,一般不超过 300 W。若功率进一步增加,则涉及的元件非常多,装调变得非常复杂,失去成本和体积等优势。

基于单管合束技术,我们采用多只高亮度激光单管,结合其热分散布局,研制出风冷结构的多种合束光源: 105 μm/0. 2NA 光纤连续输出 30 ~ 70 W; 200 μm/0. 2NA 光纤连续输出功率 80 ~120 W。

4. 2.2 基于 TBC 技术的线阵合束激光光源

激光线阵合束是采用若干传导冷却热沉封装的激光线阵,在物理位置上分离,通过空间合束镜实现光叠加,然后再进行偏振波长合束,可实现数百瓦至 3 kW 范围的功率输出。该结构可以通过整体的工业用水进行传导冷却,具有可靠性高、便于维护等优点。由于传导热沉的散热限制,单个线阵输出功率不宜过高,一般为40 ~ 80 W。常规的厘米线阵由于光束质量差,需要额外的光束整形结构,光学系统复杂,因此线阵合束常采用条宽变小的迷你线阵或低填充因子的厘米线阵。

基于线阵合束光源,我 们 研 制 出 200 μm / 0.2NA光纤连续 400 W 功率输出的激光器,可用于薄不锈钢板的切割; 研制出 200 μm /0.2NA 光纤连续 3 000 W 功率输出的激光器,用于金属板焊接。设备照片如图 5 所示。

4. 2.3 基于 TBC 技术的迭阵合束激光光源

激光迭阵是采用微通道热沉封装去离子水冷却的半导体激光线阵在快轴方向物理位置堆叠而成。由于其优异的散热特性,单层迭阵可工作在100 ~ 300 W,具有易实现高功率输出和结构紧凑等优点,是目前半导体激光器实现数千瓦甚至上万瓦激光功率输出最主要的合束形式。激光迭阵通常采用厘米线阵,因此需要进行光束整形后再激光合束。我们采用多组激光迭阵,研制出 6 kW球阀表面强化光源及万瓦级激光熔覆光源,如图6 所示。

常规 TBC 技术受限于合束机理,合束后的激光光束质量均差于激光单元光束质量。为了进一步提高光束质量,从半导体激光器和外部光学系统结合考虑,WBC 被证明是解决该难题的有效途径之一。它采用前腔面镀增透膜的半导体激光芯片与外部光学系统整体构成谐振腔,通过外部光栅调节,激光芯片上所有激光单元沿相同方向谐振,并在近场和远场完全重合,实现整体光束质量仅为单元光束质量的激光输出,相同高功率下的光束质量较常规方法提高数十倍。

我们利用基于透射光栅的外腔 WBC 技术,先后研制出 808 nm、970 nm 的几十瓦至数百瓦的光谱合束光源,光束质量仅为 3 ~ 5 mm·mrad,接近激光单元的光束质量。图 7 为光谱合束的实验装置。

4.3 VCSEL 单管及面阵

长春光机所打破传统观念束缚,提出了多增益区、调制掺杂 DBR、大出光孔径等新思想,理论上预期了瓦级以上大功率 VCSEL 的可能性,并在国内最早开展了高功率 980 nm VCSEL 的研究工作,取得了一系列突破性的成果。2003 年,我们采用 3 个应变补偿的 InGaAs/GaAsP 量子阱为有源区得到高性能的 987 nm VCSEL: 口 径 为430 μm 的器件在室温下的连续输出超过 1.5 W,激射峰半高宽仅为 0.8 nm,瓦级输出器件远场发散角低于 10°,特征温度超过 220 K。随后通过优化器件结构和工艺,2004 年在国际上将 980 nm VCSEL 的输出功率刷新到 1.95 W,脉冲输出为10. 5 W,是当时国内外报道中的最高水平。2009 年,我们研制出连续输出超过 2.5 W 的单管( 效率 20% ) 和脉冲输出达到千瓦的高密度集成列阵。

2010 年,我们在国际上首次提出并实现了大功率 VCSEL 集成面阵与其微透镜面阵的单片集成,6 × 6 VCSEL 集成微透镜阵列实现了 1.0 W基模激光输出,发散角由 14. 8°降到 6. 6°,光束质量获得成倍改善,为发展高光束质量大规模集成列阵激光开辟了新方向。图 8 为集成微透镜阵列照片。

2010 年,我们研制出 5 × 5、10 × 10、20 × 20的脉冲输出 138,319,510 W( 60 ns × 100 Hz) 的 VCSEL 面阵。2011 年,我们发明了两种偏振控制的 VCSEL 激光结构和激光器制备方法,研制出30 × 30 最高集成度( 64 个/mm^2 ) 的大功率 VC- SEL 面阵( 图 9) ,在 3.75 nm × 3.75 mm 的面积共集成 900 个器件,单管器件连续输出功率为 2.9 W,为发展兆瓦乃至更大功率激光光源开辟了新途径。

2011 年,我们研制的 VCSEL 在 110 A、60 ns电流驱动下,峰值功率高达 92 W,为当年国际报道的最好水平,创造了当年单管激光器的世界纪录。

2013 年,我们提出并设计了 AlGaAs/In- GaAlAs 宽势垒结构,实现了 795 nm 和 894 nm 高温工作( 75 ℃ ) VCSEL,适用于低功耗芯片尺寸整合微型原子钟、原子陀螺仪等传感器,同时实现授时、定位、导航等功能。芯片体积仅为0.05 mm3,器件高稳定单模态激光输出高于 0.2 mW,工作电流低于 1. 5 mA,功耗低于 3 mW。

2014 年,我们针对大功率 VCSEL 面阵低电压( 4 V,大电流 50 ~ 500 A) 驱动问题,发明了一种面阵混合封装结构及其制备方法,如图 10 所 示。利用 4 个高功率 VCSEL 单管串接,形成 980 nm 波段高功率准列阵模块,尺寸为 2.2 mm × 2. mm,输出功率高达 210 W。该突破使得微小型高功率 VCSEL 模块有望在激光引信、激光测距及激光面阵雷达系统中实现实用化。

4.4 新型激光器芯片

4. 4.1 高亮度布拉格反射波导光子晶体激光器

我们开展了 808 nm 波长布拉格反射波导光子晶体激光器( 图 11) 的研究。利用光子晶体调控光学模式,实现了近圆形光束出光,成功地将传统半导体激光快轴( 垂直) 发散角从 40°压缩到10°以下( 半高全宽) ,实现了稳定的圆形光斑激光输出,其中优化的三量子阱激光器含 95% 功率的垂直发散角可低至 9.8°,为当前报道的最低值,如图 12 所示。由于这种激光器垂直方向的模式尺寸增大,因此可有效抑制灾变光损伤。在腔面未钝化条件下,宽条激光器单管连续和脉冲输出功率分别可超过 3.5 W 和 11 W,bar 条脉冲输出功率 > 70 W,10 μm 条宽脊形器件压测条件下的单模准连续功率也超过了 1.1 W。

4. 4.2 布拉格反射波导双光束激光器

双光束激光器在高速激光扫描、高精度激光检测、原位深度监控及离轴外腔激光等领域具有重要的应用。传统的方法是将一束激光分成两束或将两束激光合在一起,但这种方式需要精确的光学对准,结构不紧凑,难以批量生产。

在半导体激光器的垂直方向引入布拉格反射波导结构,利用布拉格反射波导调控激光器工作在完全光子带隙导引模式,可从芯片层次实现稳定的对称双光束激光输出,该方法结构简单、价格低廉,易于批量生产。我们在国际上首次研制出布拉格反射波导双光束激光器( 图 13) ,激光器输出两束对称的、近圆形的激光,单光束激光垂直发散角和水平发散角分别低至7.2°和5.4°。另外,这种激光器还具有明显的光谱调制效应。

大功率半导体激光器的发展趋势

为满足各行各业对半导体激光器的需求,大功率半导体激光器必须具有更高的功率、转换效率、可靠性、光束质量和更好的光谱特性,需要从以下几个方面入手: ( 1) 发展新结构和工艺,提高半导体激光器单管的各项指标; ( 2) 发展新材料、新结构的半导体激光器,实现从紫外到远红外各波段的激光输出: ( 3) 发展新的激光合束技术,提高半导体激光器的输出功率; ( 4) 拓展半导体激光器的应用领域,如3D打印、超短脉冲加工、纳米光学等新兴领域,促进半导体激光器应用技术的发展。

来源:中国科学院长春光学精密机械与物理研究

发布时间 : 2020-04-27

伽罗华激光VR采集设备,让激光+VR正式应用到居住服务产业

使用过贝壳找房、链家、自如等APP的消费者,都有过类似体验:一键即可进入VR看房场景,自由行走去观察房屋的每一个细节。随着VR技术的不断发展成熟,其所能提供沉浸式画面的优势与房产服务过程中的痛点相结合,已成为房产服务线上化变革的关键点。

就在今年的4月23日新居住大会上,贝壳找房正式推出了全新的VR采集产品——伽罗华激光VR采集设备,让激光+VR正式应用到居住服务产业。

1. 技术升级,激光量房达到毫米级绝对误差

贝壳·如视VR一直致力于为终端用户提供一站式的空间建模服务、本次推出的伽罗华激光VR采集设备,在VR采集精度、范围、效率上都有了显著提升。

伽罗华可实现360度自动全景扫描,采集场景的深度数据,并对画面进行自动拼接处理,生成VR物料。设备搭载的深度激光检测模组,既让采集半径由5米扩大到10米,大幅减少了采集点位,提升采集效率,也让深度采集精度达到20mm的绝对误差,大量实际测试数据显示,伽罗华多数情况下对普通室内环境的量房面积误差已可控制到0.4%以内,可实现“装修级量房”。此外,伽罗华的彩色感光部件也升级为4/3英寸的大靶面CMOS,sensor面积大约是多数手机摄像头1/2英寸CMOS的7倍,结合使用多层镀膜技术的鱼眼镜头,可有效抵御炫光、紫边等问题,让采集画质达到微单级别,以更精准的色彩呈现让房屋的每一处细节清晰可见。

随着伽罗华的推出,线上VR看房将真正实现媲美线下的看房体验。不同于传统的图片和视频,以激光模组打造出的VR房源可以极其精准地呈现房屋的三维结构、尺度信息、整体户型、内部装修以及房间细节等信息,让用户最大程度上沉浸在VR场景内,打破传统通过图片、视频看房仅能通过想象的尴尬局面。

2. 数据升维,VR步入更大应用场景

更精准的数据,也让VR有了更广阔的应用场景。基于激光采集出的VR数据,消费者将无需再进行费时费力的线下量房,房屋内任意两点之间的距离都可精准呈现。在贝壳的“未来家”应用里,更可结合贝壳的物品识别技术,将房屋三维CAD结构图与AI设计相结合,通过不同风格的AI设计和室内虚拟环境的实时逼真渲染,在短时间内将购房者脑中的装修方案具象化,实现看房—买房—装修一站式解决。

另一方面,不断增长的VR数据,也在不断推动VR采集技术的迭代。基于大数据与单目图像深度估算技术,如视VR已实现让普通的一部手机就能轻松实现VR空间重建,让所有的用户、所有的行业都能“零门槛”地拥抱VR,以VR来记录空间、记录生活。

据悉,北京、上海等10城将率先以伽罗华激光VR采集设备进行房源的三维重塑。


来源 : 砍柴网 发布时间 : 2020-04-25

百超迪能高功率激光切割机的厚板切割优势

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现代工业制造领域对于金属板材的切割厚度要求越来越高,大功率激光切割设备已在金属加工领域被广泛使用。激光切割具有高效率、高精度、高质量的特点,然而在厚板切割时仍面临不少技术难点,随着板材厚度增加,切割速度、切割质量都将下滑,同时对切割机的稳定性、抗灼烧能力、除尘能力的要求也都相应增加。

百超迪能是一家于2016年由瑞士百超激光集团与中国迪能激光合资的中欧合资企业,作为国家级高新技术企业,拥有世界杰出的激光技术人才和国外激光技术专家队伍,多项技术尤其是切割厚度和切割速度方面居金属激光切割行业先进地位。百超迪能最新推出的高功率激光切割机,在厚金属板切割上具有其独到的优势。

配备IPG高功率光纤激光器

IPG是中国最大的高功率激光器供应商,IPG高功率光纤激光器具备卓越的光束发散角度及亮度,有很高的电光转换效率;采用多个模块输出,配备热冗余技术,在实现超高功率的同时还具备超高的稳定性,可在恶劣工况下切割各种金属厚板,包括铜、铝等高反材料。

配置先进的激光切割头

百超迪能激光切割机切割头采用最新核心光学镜片组,将IPG激光器激光束能量最大利用到加工工件面,并优化到达工件面的光斑质量;

通过对弥散光的反射、压制、筛选之后,对散失的光进行二次、三次回收再利用,使可利用的激光束能量得到增强;

金属厚板在穿孔时间上大大缩短,切割速度大幅提高,切割断面更加光亮细腻。总体效能提高10-15%。

智能感应系统

切割系统能在切割不同厚度和不同材质板材时自动感应和匹配切割环境,调整切割参数,对特殊材质板材实现智能切割数据补偿。

独立抽风管道系统

采用内置抽风管道系统。其一,避免生产过程中烟尘扩散,既节能环保,保障安全生产,又能有效延长机器零件寿命;其二,降低机床床体直接受热变形的可能性,在长时间切割厚金属板材时,使设备整体运行更加稳定。

以上特点,使得百超迪能切割机在厚金属板切割时速度快、精度高、切面光滑,并且有极高的稳定性,满足了各行业对厚金属板的加工需求。


来源 : 腾讯新闻 发布时间 : 2020-04-20

光学、光子学在对抗新冠病毒中的应用

随着新冠病毒在世界范围内扩散,患者、技术人员和科学家在对抗导致这种疾病的病毒时,都依赖于最新的分子分析仪器。这些仪器中嵌入的光学和光子技术(例如高量子效率的多光谱相机、可见光激光二极管和LED、红外辐射热计阵列、窄带滤光片和宽带多光谱光谱仪)起着至关重要的作用。



无论在医院还是在实验室中,光学技术都可以对潜在感染者进行快速的初步筛查,提供更准确的分子诊断,可靠的疾病进展监控,甚至可能对被污染的表面进行消毒。在过去的几十年中,我们人类开发了这些使能技术,其应用范围从电信到机器和夜视等。现在,它们又在与新冠病毒的战斗中扮演着挽救生命的角色。


安全筛查

在阻止新冠病毒大流行上,如何在早期筛查出感染者是主要挑战之一,因为该疾病症状的广泛差异使筛查工作变得复杂且艰难。监测体表温度升高是最常用的初步方法,这也是监控发烧的最准确方法。但是,考虑到新冠病毒的致病性,采用红外成像摄相机远程同步拍摄和测量人群的非接触式设备具有明显的安全优势。


现在,许多临床医生依靠基于红外线的温度计来测量额头温度。这些成像和现场测量测温设备为医务人员与患者提供了更安全和有效的非接触式屏障。这些温度计基于单个检测器或基于MEMS的微辐射热计或半导体二极管检测器的阵列——在远红外光谱区域(8至14 μm)敏感的热传感器,并检测出身体温度高于正常温度的人黑体辐射强度的变化。


分子诊断

如果患者发烧或出现其他典型的病毒感染症状(喉咙痛、干咳、肌肉酸痛、乏力),那么他需要进行进一步的分子诊断测试。这种基于实时逆转录聚合酶链反应(RT-PCR)的技术,使用灵敏的光谱方法,从患者的鼻或咽拭子中检测出极少量的病毒遗传物质。再者,光学技术是疾病检测必不可少的组成部分。


诊断过程需要大量的样品处理,首先要从病人身上采集标本。实时RT-PCR是通过在样本中复制特定的核酸序列来工作的,使用的探针——核酸引物——选择性地与新冠病毒中的RNA序列结合。探针被荧光染料分子标记。


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RT-PCR仪器。

然后使用酶复制结合到探针上的核酸序列。在37°C至95°C之间将样品进行约40次热循环。如果存在靶核酸序列,则每个循环将其扩增两倍。


光学技术将“实时”置于RT-PCR中。随着扩增酶产生重复拷贝,荧光分子被释放到缓冲溶液中。在每个循环后实时测量总荧光,对于阳性样品,随着扩增子数量的增加而增加。通过测量热循环过程中的强度积累,可以检测到病毒,并可以估算存在的病毒数量(病毒载量)。


实时RT-PCR仪器采用窄带可见激光二极管或LED作为激发源,并采用带有窄带通光学滤波器的半导体二极管或光电倍增器进行检测。这些仪器是全自动的,通常可以在不到一个小时的时间内并行处理96或384个样品。


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在“TaqMan”实时聚合酶链式反应中,一种带有荧光分子和猝灭剂的核酸探针分子附着在被复制的DNA或RNA片段上。通过每一轮扩增,荧光分子被释放到缓冲液中,并与淬灭剂分离,从而可以通过荧光实时检测目标基因序列(例如新冠病毒的基因序列)的扩增。


实时RT-PCR技术是当今可用的最灵敏、最特异性的分子分析技术之一。这种检测对于跟踪和控制新冠病毒的传播至关重要。但是,该方法的总体灵敏度可能会受到样品收集和制备过程效率的限制。存在于采样组织中的病毒数量(比如个体之间的差异以及病毒在每个患者体内的进展)也可能是限制因素。


目前估计这种方法的假阴性率约为30%。重复检测可以降低这一比例,这就是为什么许多医院在患者康复之后将其分类为非传染性患者之前需要进行两到三次连续的实时RT-PCR阴性试验的原因。


追踪疾病进展

除了分子诊断,新冠病毒患者肺部成像也被证明了对使用高分辨率计算机断层扫描(CT)扫描检测病毒感染非常敏感。临床医生寻找肺损伤的迹象,如肺组织中的“磨毛玻璃”样或体液积聚作为肺炎的标志。中国的医护人员报告说,这种方法可以检测出大量被感染的个体,他们的RT-PCR读数为阴性,然而,只有在疾病发展的后期,一旦出现肺部损伤情况,这种方法才能检测到。


如果病人被诊断出患有新冠病毒,则可以使用氧饱和度计确定疾病的进展和呼吸功能,该氧饱和度计可测量血液中氧合血红蛋白的百分比。随着疾病的进展,呼吸可能变得困难,导致含氧血红蛋白减少——如果水平降至某些阈值以下,则可能需要补充氧气或用上呼吸机。


氧饱和设备使用以两种不同波长发射的发光二极管,波长通常在665 nm和894 nm左右。氧饱和度百分数由这两个波长下的吸收率测得。这些电池供电的设备可舒适地夹在手指或脚趾上,提供氧饱和度水平的实时测量。


免疫测定:ELISA法

光学仪器还被用来测试一个人是否曾接触过新冠病毒并已产生免疫反应。这些仪器可以每天自动分析成百上千个样本,它们使用一种称为酶联免疫吸附测定(ELISA)的技术来测量患者血清样本中是否存在新冠病毒特异性抗体。


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96孔板酶标仪。

在一种典型的检测方法中,在病毒表面上发现的抗原被固定在样品孔的底部,该孔是光学透明的。血清样品中的抗体与酶(通常是辣根过氧化物酶)结合,并在含有固定抗原的表面上孵育。对新冠病毒抗原具有特异性的任何抗体均会与靶标结合并固定在光学窗口的表面。未结合的非特异性抗体被洗掉。


然后将含有酶底物的带有色度指示剂的溶液添加到样品孔中,与抗体相连的酶与底物反应,从而在样品中产生颜色变化。该酶与多个底物分子反应,从而放大信号。然后,通过样品底物的荧光或吸收指示剂的多光谱成像,可以检测并定量血清中的病毒抗体。


即使此次疫情已经过去,这种方法仍可用于衡量病毒在社群中的传播程度、测量个体免疫反应的持续时间,并研究抗病毒药物候选物和潜在疫苗的功效。目前,正在使用ELISA鉴定从新冠病毒中康复过来且对病毒具有保护性免疫反应的医务工作者。一旦免疫被确认,这些人员就可以安全地恢复与受感染患者的合作。


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ELISA原理图,用于测量新冠病毒患者样品中特定抗体的存在。该技术依赖于样品的比色变化,该变化是由与SARS-CoV-2病毒特异抗体相连的酶产生的。


疫苗和灭菌

光学设备也是最常见的高通量基因测序仪器的核心技术。它们通常使用高量子效率、超高分辨率多光谱相机同时绘制数亿个目标DNA分子的序列,并且可以在短短几个小时内对新冠病毒的完整基因组进行测序。病毒的遗传序列可能会因位置而异,因为新冠病毒在其复制阶段偶尔会发生突变。通过比较从不同位置的患者采集的样本中的特定突变,可以比较不同地理区域的感染并追踪感染的起源。


病毒基因组的高通量测序还可以确定病毒中的蛋白质,并为合成疫苗确定合适的靶点,以安全刺激免疫反应。在过去的20年中,这项技术有了很大的进步,这在很大程度上要归功于人类基因组计划,它将成为开发有效的疫苗和抗病毒药物以对抗新冠病毒大流行的必不可少的工具。


除分子生物学实验室之外,光学器件正在作为另一个重要领域的“武器”:表面消毒。大多数病毒和细菌对紫外线非常敏感,特别是在UV-C光谱区域(200-280 nm)中,这会导致RNA突变,而RNA是病毒复制所必需的。最近,在该光谱区域发射的UV LED的开发方面已经取得了很大的进步。已经开发出发射数百毫瓦的LED阵列,其使用寿命超过1000小时,电效率约为10%。


这些二极管的阵列可以产生显著的紫外线功率水平,从而有可能比化学试剂更有效地净化某些表面。最近的实验室结果表明,在大约1分钟的暴露时间内,足以通过位于污染表面上方约1米的1W平均功率设备杀死细菌和病毒。紫外线发光二极管对感染SARS-CoV-2病毒表面的净化效果正在进一步测试当中。


未来需求

随着全球健康面临这一新型致命的威胁,世界各地的实验室正在使用由光学和光子学界开发的技术来帮助阻止病毒扩散和拯救生命。在不久的将来,随着新冠病毒疾病的传播减缓,医学焦点将转向热点地区新冠病毒复发的早期检测和隔离,这将对诊断和净化技术提出新的挑战。而这些挑战为光学和光子技术带来了新机遇——光学与光子技术具有低成本、高速、灵敏和特异的优势,为全球健康做出了重要贡献。

来源:激光制造网LaserfairCom

原文作者Thomas M. Baer 、Christina E. Baer

激光制造网编辑老王译自《Optics & Photonics News》


来源 : 激光制造网LaserfairCom 发布时间 : 2020-04-19

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