用于牢固粘接的USP激光玻璃焊接结合精妙的自聚焦技术提供了所需的质量和工艺可靠性,使激光玻璃焊接应用到批量生产中成为可能。玻璃独特而优异的特性使其广泛应用于生物医学、微电子等不同领域的各种高科技产品中。在大批量、精密玻璃切割领域挑战巨大。它还带来了键合方面的困难,包括将单个玻璃组件焊接在一起,以及将玻璃焊接到金属和半导体等其他材料上。问题在于,所有用于焊接玻璃的传统方法都难以为经济高效的批量生产提供所需的精度、键合质量和生产速度。例如,粘合剂键合是经济的,但会在零件上残留胶材,甚至需要脱气。介质焊接使用熔化的粉末材料,但对于微电子和医疗器械来说,会引入过多的热量。离子键合是一种巧妙的方法,可提供极高的键合强度,但对生产来说并不实用。就像精密玻璃切割一样,秘诀在于使用红外波长超短脉冲(USP)激光器。玻璃在红外线下是透明的,聚焦的激光束可以穿过它,直到它在焦点处引发 "非线性吸收"。用于牢固粘接的USP激光玻璃焊接方法具有三个主要优势。首先,由于被焊接的两种材料都部分融化并凝固在一起,因此USP激光方法会产生牢固的粘接。该工艺适用于玻璃与玻璃、玻璃与金属以及玻璃与半导体的粘接。其次,该工艺中产生的少量热量可使焊缝紧贴热敏元件。最后,如果 USP 激光玻璃焊接实施得当,则不会在焊缝周围产生微裂纹。微裂纹会降低机械强度并可能导致最终的设备故障。Coherent高意公司将 USP 激光玻璃焊接投入实用
用于牢固粘接的USP激光玻璃焊接中的挑战,即激光聚焦位置必须精确地保持在两个焊接部件的界面上。一种解决方案是使用轴向拉长的焦点。这会“延展”激光束焦点的尺寸以解决位置敏感性问题。但是,会产生非圆形熔池这很容易形成微裂纹。Coherent高意公司精确可靠激光玻璃焊接的解决方案结合了动态聚焦技术和高数值孔径光学器件,以产生一个小的焦点光斑,避免了微裂纹。因此,Coherent高意公司的激光系统实现了高球面度的熔池,从而避免了微裂纹,此外不断调整光学器件以保持完美的焦点,从而在任何形状的部件上产生高质量的焊接,而不受公差和位置的影响。
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