技术分享 | 深入解析CoolDrive D5的位置误差补偿功能
发布时间：2023-12-22 来源：清能德创
在晶圆检测、激光直写等应用中，因光栅尺或编码器的测量误差可能引起设备的定位误差，该误差可能导致某些加工问题的出现。为避免这些加工问题，需要系统对其进行补偿，也就是我们今天要谈的——位置误差补偿功能。
清能德创最新推出的全功能型直驱伺服驱动CoolDrive D5，支持直线电机及DD马达电机“误差补偿功能”，为客户精密加工系统优化提供了更精确的位置定位。特别是上位软件不支持误差补偿功能时，CoolDrive D5能极大的提高系统的精度，方便客户使用。
位置误差补偿
01 功能介绍
位置误差补偿
利用保存在CoolDrive D5（以下简称“CDD5”）内的误差补偿表进行实时补偿，能够消除因光栅尺或编码器测量误差导致的可重复定位误差。同时，CDD5支持多种行业内标准的激光干涉仪误差测量数据格式，并可实现误差测量的驱动器自主规划运行。
02 功能特点
位置误差补偿
1、支持试运行回原点功能 试运行回原点功能主要用于实现驱动器的自主寻原点。 误差补偿表的起始位置需要对应光栅尺的一个固定位置。在使用增量编码器时，固定位置一般为电机原点位置，因此需要找到该位置，才可进行误差补偿测量。 使用本功能后，可不依赖上位机，仅需简单操作，CDD5即可驱动电机完成回原点的动作。
回原点操作界面
2、支持误差补偿测量功能 误差补偿测量功能可以实现用户自定义起始位置、起始方向、运行速度、单次循环步长、步长距离、回退距离等等运动轨迹，满足多种应用需求。 误差补偿测量功能界面
3、支持误差补偿表导入
① 支持用户自定义修改某一点的补偿值，方便操作。 ② 支持激光干涉仪生成的RTL格式源文件的一键导入、一键写入功能、一键保存等功能，减少操作步骤，提升调试效率。同时会根据源文件自动计算出正反向补偿值及平均值，从而提供给用户更多的补偿方式。 TRL格式源文件的导入界面 导入源文件后的误差补偿数据 4、补偿位置细分、自定义补偿点数 ● 最小补偿单位为1个inc。 ● 支持自定义补偿点数，最高可设置1000个补偿点。 03 应用案例 位置误差补偿 设备信息： ● 2台ABZ编码器分辨率为100nm的直线电机 ● 2台CDD5伺服驱动 补偿后效果： ● 定位精度为2.2um ● 重复定位精度1.4um
总结
具备位置误差补偿功能的CoolDrive D5能助力设备实现更加精准的定位，满足半导体、面板、新能源、电子制造等行业的高端应用场景的需求。
